基于MEMS的Triphibian®绝对压力传感器芯片(模拟输出)

MLX90830 Melexis

MLX90830是一款采用Triphibian®技术、基于MEMS的小型化绝对压力传感器芯片,能够对2至70 bar的气体和液体介质进行稳健的测量。该产品经过出厂校准,可提供模拟电压输出。

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主要优势

  • Triphibian® 技术

  • 在气体和液体介质中十分稳健,符合化学冷媒的要求

  • 在芯片全寿命期间精度高达0.5%

  • 成比例的模拟电压输出

  • 快速响应时间(最短0.4ms)

  • 系统级封装:MEMS、模拟前端电路、16位微控制器、稳压器以及成比例的模拟后端电路

  • 可配置的诊断功能,例如内部连接断开、过电压、欠电压等。

  • 经过出厂校准,也支持通过连接编程工具PTC04进行完全编程,获得自定义校准曲线

  • 过电压(+40V)和反向电压(-40V)保护机制(电源和输出)

  • 汽车级温度范围(–40°C至150°C)

  • 认证

    • AEC-Q100(汽车)和AEC-Q103-002(MEMS压力传感器芯片)

    • 符合ASIL要求的ASIL A级SEooC (ISO 26262)

  • 采用符合RoHS标准的SOIC16 WB (XG)宽体封装

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基于MEMS的Triphibian®绝对压力传感器芯片(模拟输出)  -  MLX90830

产品介绍

MLX90830是首款采用全新专利TriphibianTM技术的产品。这款MEMS压力传感器芯片采用前所未有的小型化设计,能够稳健地测量2至70 bar的气体和液体介质。

MLX90830以Melexis突破性的TriphibianTM技术为核心,不仅使MEMS(微电子机械系统)传感器芯片能够实现远高于5 bar的精确测量,而且可以实现液体接触式测量。MLX90830具有独特构造,实现了创新性突破,既能进行高压感测,又能与气体和液体兼容。该传感器芯片采用SO16宽体封装,内部包含一个悬挂悬臂,其尖端带有感应膜。

传感器芯片的悬挂悬臂设计提供高达2000bar/msec的压力峰值抗扰度和高达210 bar的静态爆破压强水平。该器件具有二种默认压强量程校准范围(10 bar、35 bar),每种压强量程校准范围均针对电动汽车热管理系统的需求量身定制,包括冷媒的低压、高压制冷回路。MLX90830的设计原理上比背面暴露的解决方案更稳健,后者在玻璃基座侧和引线键合侧之间仍然存在压力差。压力均衡原理也适用于冷冻介质,因此MLX90830可在此类条件下不被损坏,这对MEMS压力敏感元件而言尚属首次。

MLX90830芯片包含一个传感器信号处理电路、数字硬件、稳压器和模拟输出驱动。植入感应膜中的压阻元件可形成惠斯通电桥,实现将压强信号转化为电信号。该信号经放大后可转换为数字信号,通过16位数字信号处理(DSP)进行温度补偿,最后通过数模转换器提供模拟电压输出。

该传感器芯片配备了先进的保护机制,可防止过电压(+40 V)和反向电压(-40 V),十分适合卡车应用。MLX90830开发为符合ISO 26262要求的独立安全单元(SEooC),支持ASIL B级系统集成,可确保满足最新的电动汽车安全需求。

MLX90830经过出厂校准,也支持通过连接编程器PTC-04 (PTC-04 DB-HALL06)进行完全编程,获得自定义校准曲线。有关详细信息,请联系您当地的销售代表。

应用示例

  • 绝对压力为2 bar至70 bar的气体和/或液体介质
    • 电动汽车的热管理
      • 独立传感器
      • 膨胀阀中的嵌入式传感器
      • 电动压缩机中的嵌入式传感器
      • 泵中的嵌入式传感器
    • HVAC-R 系统

特性和优势

  • Triphibian® 技术

  • 在气体和液体介质中十分稳健,符合化学冷媒的要求

  • 在芯片全寿命期间精度高达0.5%

  • 成比例的模拟电压输出

  • 快速响应时间(最短0.4ms)

  • 系统级封装:MEMS、模拟前端电路、16位微控制器、稳压器以及成比例的模拟后端电路

  • 可配置的诊断功能,例如内部连接断开、过电压、欠电压等。

  • 经过出厂校准,也支持通过连接编程工具PTC04进行完全编程,获得自定义校准曲线

  • 过电压(+40V)和反向电压(-40V)保护机制(电源和输出)

  • 汽车级温度范围(–40°C至150°C)

  • 认证

    • AEC-Q100(汽车)和AEC-Q103-002(MEMS压力传感器芯片)

    • 符合ASIL要求的ASIL A级SEooC (ISO 26262)

  • 采用符合RoHS标准的SOIC16 WB (XG)宽体封装

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Melexis Triphibian®变革MEMS压力传感器技术

产品

Melexis推出首款采用全新专利Triphibian®技术的压力传感器芯片MLX90830。这款MEMS压力敏感元件采用前所未有的小型化设计,能够稳健地测量2至70bar范围内的气体和液体介质的压力。该器件经过Melexis出厂校准,可测量绝对压力并提供成比例的模拟输出信号。MLX90830可简化模块与最新电动汽车(EV)热管理系统的集成,使模块更具成本效益。